潔凈室概念源于18世紀六十年代的歐洲醫學(xué)，當時(shí)僅限于噴灑消毒后可以控制創(chuàng )傷部位的感染率的處置室、手術(shù)室一類(lèi)的滅菌處理的工作環(huán)境。
二戰期間，美國生產(chǎn)的飛機導航用氣浮陀螺儀。
50年代初朝鮮半島戰爭期間，電子零部件質(zhì)量不穩定，美國封閉生產(chǎn)車(chē)間，成效微小。
1951年成功研制高效空氣過(guò)濾器，應用于生產(chǎn)車(chē)間的送風(fēng)過(guò)濾，真正誕生了潔凈室。
1961年懷特菲爾特提出層流（現在的單向流）方案，應用于實(shí)際工程，潔凈室達到前所未有的更高潔凈級別；同年美國頒發(fā)了第一個(gè)潔凈室標準，1963年將潔凈室劃分為三個(gè)級別。
上世紀六二年代中期，潔凈室應用于軍事工業(yè)、電子、光學(xué)、微型軸承等工業(yè)部門(mén)得到推廣。
七十年代初潔凈室建設重點(diǎn)轉向醫療、制藥、食品等行業(yè)
