無(wú)塵室，也稱(chēng)潔凈室，是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來(lái)源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準確地講，一個(gè)潔凈室具有一個(gè)受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數，或者用最大顆粒大小來(lái)厘定的。低級別的潔凈室通常是沒(méi)有經(jīng)過(guò)消毒的（如沒(méi)有受控的微生物），更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。
無(wú)塵室的定義：空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個(gè)相當潔凈的環(huán)境。亦即：這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當少，稱(chēng)之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機械、制藥行業(yè)等，其中以半導體業(yè)其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內，才不會(huì )對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設施，潔凈室可以占據廠(chǎng)房很多位置。
無(wú)塵室系統制造符合規格之潔凈空氣，連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內的制造區。以下由立凈簡(jiǎn)單介紹潔凈室的處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調箱初步過(guò)濾微塵并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間，將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調箱之補充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤(pán)管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規格，通過(guò)循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，最后經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)或過(guò)濾后，供應至Fab區。
